产品别名 |
压电陶瓷精密平台,纳米平台 |
面向地区 |
Aerotech QNP-L系列单轴线性压电纳米定位平台
关键词:压电平台/纳米平台/压电陶瓷精密平台
Aerotech的QNP™系列压电纳米定位平台以紧凑,高刚度的封装提供了亚纳米级的性能。多种行程范围(100 µm至600 µm)和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。
紧凑包装中的
QNP压电平台受精密挠曲的指导,该挠曲使用有限元分析进行了优化,以确保高刚度和较长的设备寿命。终的设计提供了出色的刚度和谐振频率,从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外,这些平台被设计为提供出色的几何性能(直线度和角度误差),同时小化了整体平台的封装尺寸。
高分辨率和定位精度
所有QNP压电级均采用特的电容传感器设计,提供闭环反馈选项,可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位滑架的输出,从而实现出色的精度和可重复性。
超精密控制
与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时,QNP压电纳米定位台具有亚纳米级的定位分辨率和就位稳定性(抖动)以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选件提供了许多而易于使用的工具,例如Learning Control,Harmonic Cancellation和Command Shaping,从而改善了跟踪误差并缩短了分步和稳定时间。
使用Aerotech的FlashConfig功能可实现自动参数和校准识别。平台会被自动识别,所有操作参数(包括轴校准数据)都将上载到控制器中,以确保安全,准确和真正的“即插即用”操作。
特点
• 行程范围从100 µm至600 µm
• 设备寿命长
• ,无摩擦的挠性导向系统
• 借助直接计量电容传感器,可实现高达0.007%的出色定位分辨率和线性度
• 与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性
• 开环和真空版本
XY双轴搭配方案
更多产品信息联系:于先生 (同)
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